低温等离子技术

等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，随着电极两端电压的升高，电极之间的绝缘体（空气、玻璃、其他绝缘体）游离出电子和离子，当电压升高到一定值（N）的时候，达到电子和离子运动极限值，达到这一极限值就叫等离子体。

根据试验测得等离子体的能级15eV，有机污染物分子的能级小于11eV，所以等离子体完全有能力裂解污染物分子的化学键。另一方面，空气中的H2O、O2分子在等离子体的作用下，产生大量的活性离子（O3*、O+、H2O2、H2O2+、OH-），活性离子的氧化功能提升等离子体废气净化能力。因此等离子体是一种效率很高的废气处理技术。

电晕放电

气体介质在不均匀电场中的局部自持放电是常见的一种气体放电形式。在曲率半径很大的尖端电极附近，由于局部电场强度超过气体的电离场强，使气体发生电离和激励，因而出现电晕放电。为提高稳定性可将反应器做成非对称（asymmetric）的电极形式。电晕放电反应器的设计主要参考电源的性质而有所不同，有直流电晕放电(DC corona)和脉冲式(pulsed corona)电晕放电。

介质阻挡放电

外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使有害物质转变成无毒无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。介质阻挡放电能够在高气压和很宽的频率范围内工作，通常的工作气压为104~106。电源频率可从50Hz至1MHz。在实际应用中，管线式的电极结构被广泛的应用于各种化学反应器。而平板式电极结构则被广泛的应用于工业中的高分子和金属薄膜及板材的改性、接枝、表面张力的提高、清洗和亲水改性中。

运行中的芒刺状等离子

高压脉冲电源输出

电源输出正弦波的同时触发脉冲

芒刺状等离子加工图

运行中的板式DBD等离子

运行中的管式DBD等离子